单路ZDF-5227I-S、双路ZDF-5227II-S、单路ZDF-5210I-S、双路ZDF-5210II-S智能复合真空计
单路ZDF-5227I-S、双路ZDF-5227II-S、单路ZDF-5210I-S、双路ZDF-5210II-S智能复合真空计,由一路或两路电阻单元与一路电离单元组成。用于1.0×10^5~1.0×10^-5Pa(ZDF-52271IS)或1.0×10^5~1.0×10^-4 Pa(ZDF-5210IIS)之间的压力测量,适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业,包括半导体制造、镶膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。
主要性能特点
1、中英文双操作界面;
2、零点、满度键式自动调整,自动化程度高、可靠性好;
3、能实现从大气压到高真空自动测量,无需用户干预;
4、RS232、RS485.带2500V隔离的CAN总线三种通讯模式可供选择;
5、多波特率选择;
6、Pa.Torr.mBar等多显示单位选择;
7、具有存储可扩展功能;
8、控制点掉电(失电)保护,记忆功能;
此款真空计参数设置简单易操作,是-款高效智能的真空测量和控制产品。
主要技术性能参数
★规管型号:ZJ-52T、ZJ-27(10)
★规管接口:坡璃:金属直口;KF16;KF25;CF35;CF16等不同接口
★测量范围:
电阻部分:1.0×10^5 Pa~3.0×10^3 Pa --观测范围
3.0×10^3 Pa~1.0×10^-1 ----测量范围
电离部分:2Pa~1.0×10^5 Pa(ZDF-5227II-S)
20Pa~1.0×10^-4 Pa(ZDF-5210II-S)
★测量精度:电阻部分:1-3000PO范围内,与标准曲线的相对偏差<50%;电离部分≤土5%
★测量路数:IS型一一 1路低真空(电阻)+1路高真空(电离)
IIS型一一 两路低真空(电阻)+1路高真空(电离)
★显示单位:Pa、Torr.mBar可自由选择
★控制方式:电阻有2路继电器输出,自动测量部分有6路继电器输出可选;
★模拟量输出:0-5/10V,4~20mA可选
★通信输出:RS232成RS485可选,标准MODBUS RTU协议
★波特率:1200/2400/9600
★电离规外控:PLC
★电源:AC220V±10% 50HZ±1HZ
★机柏尺寸:88×440×280mm
★面板尺寸:92×480mm
★开孔尺寸:88×440mm |