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1、真空检测仪表
产品型号及名称
配用规管
量程
测量 路数
控制点 及功能
机箱尺寸 高*宽*深 单位mm
复 合 真 空 计 系 列
ZDF-2W复合真空计
ZJ-51 ZJ-2
10-10-5Pa
3
过压保护
159*440*250
ZDF-2D复合真空计
ZJ-52(金属)ZJ-2
大气-10-5Pa
2控制点过压保护
ZDF-2E复合真空计
139*440*250
ZDF-2F复合真空计
2
ZDF-2G复合真空计
4
ZDF-9微机复合真空计（数显）
ZJ-2 ZJ-51
全自动检测 4控制点过压保护
100*320*280
ZDF-12微机复合真空计（数显）
ZJ-52 ZJ-27抗氧化
大气-10-6Pa
CG-2B微机复合真空计（数显）
ZJ-52 ZJ-10抗氧化
大气-10-4Pa
ZOF-18微机复合真空计
ZJ-52 ZJ-10
JM-YK压强控制仪
ZJ-52 2J-10压电阀
105-10-4Pa
1
ZDF-16微机复合真空计
ZJ-52 2J-10
机箱尺寸 高 *宽*深 单位mm
电 离 真 空 计 系 列
ZDD-1电离真空计
ZJ-2
10-1-10-5Pa
139*320*250
ZDD-2电离真空计
139*320*280
ZDD-4微机中真空计
ZJ-10抗氧化
10-10-4Pa
全自动检测 4控制点
100*320*330
ZDD-3微机中真空计
ZDR-10微机电离计
ZJ-10
100*280*300
ZDR-11微机电离计
ZJ-27
1-10-5Pa
100*320*230
外型尺寸 高*宽*深 单位mm
粗低真空计系列
ZDO-1热偶真空计
ZJ-51
10-10-1Pa
140*220*170
ZDO-4热偶真空计
140*340*170
ZDO-5微机热偶真空计
105*290*260
186-B热偶真空计
ZJ-54D金属
400-10-1Pa
140*150*190
ZDO-2热偶真空计
140*240*170
ZDO-1B热偶真空计
ZDO-3B微机热偶真空计
ZJ-54D
2.66*102-1*10-1Pa
90*90*140
ZDZ-1A电阻真空计
ZJ-52
大气-10-1Pa
ZDZ-1X电阻真空计
96*96*230
ZDZ-2微机电阻真空计 （数显）
ZJ-52(金属)
100*210*260
ZDZ-8微机电阻真空计 （数显）
8
8、RS232串行口打印
CYO-1压差热偶真空计
压力传感器 ZJ-54D
2.66*104-1*10-1Pa
280*300*115
JY-1绝压真空计
压力传感器
0-100KP
90*210*190
光学镀膜控制系列
功能
光学透反射光路
CG-5TFGL 膜厚监视装置
工作频率 1000HZ 波长范围 400λO-800λO倍增管 配单色仪 光源12V 100W 高压负500-1500V 机箱尺寸 高*宽*深 159*440*250 光源 12V30W-50W
CG-5 膜厚控制仪
CG-7 光路高压电源（数显）
光学反射光路
JM-GF 反射膜厚监视装置
工作频率1000HZ 波长400λO-800λO 电动机110V 50Hz 机箱尺寸 高*宽*深 159*440*280
JM-5AII 反射式膜厚控制仪
输出功能
电源系列
ZWV1-QKBH高精度稳流稳压源
DC50V5W、50V0.5W、±15V1.5W、-15V1.5W 稳流DC24V 150W 机箱尺寸 高*宽*深 179*440*480
JM-10高压电源
负500-1500V 0.5mA 3MΩ可调输出 高*宽*深 90*210*190
